上海車儀田科技有限公司
2023-06-12
作者：135期 吳同學
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上海車儀田科技有限公司成立于2018年，為半導體設備行業提供光學原位檢測儀器和應用解決方案。公司開發的終點檢測系統應用于干法刻蝕、離子束刻蝕、CVD清洗、CMP和Strip去膠等工藝的終點檢測和等離子體診斷。高溫原位檢測系統應用于MOCVD、HTCVD等高溫設備的非接觸式光學量測，包括溫度、反射率和翹曲的實時計算。 車儀田科技在光學、電子、軟件和工藝等專業領域有多年的半導體設備工業化應用經驗，解決方案基于高良率、高性能和APC先進過程控制。在工業量產方面，公司產品致力于持續的成本降低、效率提高和質量控制。和客戶在先進的信號處理算法方面緊密合作，保持與國外最先進技術同步。 公司產品目前出貨數百臺，主要應用于國內的半導體設備公司，和客戶機臺在Fab廠持續穩定運行。
